Гаврилов, Белов: Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
Аннотация к книге "Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники"
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 "Электроника и микроэлектроника", 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100...
Где купить эту книгу? В обычном магазине или через Интернет? Заказывайте в "Лабиринте"! У нас Вы можете купить книгу дешевле, а получить быстрее, чем где бы то ни было. Сделать правильный выбор Вам помогут рецензии покупателей, а также дополнительные материалы: отрывки, фото и иллюстрации.
