Наноэлектроника. Учебное пособие: Александр Щука

Рассмотрены основные направления развития современной электроники, использующей физические эффекты, имеющие место в наноструктурах. Проанализированы пути перехода от микро- к наноэлектронным приборам, приведены описания нанотехнологических процессов, элементов и приборов нано электроники и новых материалов, с которыми тесно связано развитие приоритетной области нанонаукн и нанотехнологии.
Для студентов по направлениям подготовки "Прикладные математика и физика", "Электроника и наноэлектроника", "Нанотехнологии и микросистемная техника", а также для аспирантов и научных работников, специализирующихся в области наноэлектроники и нанотехнологии.
4-е издание.