Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология
Оцените и оставьте рецензию
Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диап
Полная аннотация
Издательство
Все характеристики
Аннотация
Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России.
Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
Характеристики
Редактор
Издательство
ID товара
649954
ISBN
978-5-02-040089-4
Страниц
138 (Офсет)
Вес
248 г
Размеры
233x165x8 мм
Тип обложки
обл - мягкий переплет (крепление скрепкой или клеем)
Иллюстрации
Черно-белые + цветные
Все характеристики
Ожидается812
Рецензии на книгу
Читали книгу? Как она вам?
+50 ₽ за рецензию
Вы можете стать одним из первых, кто напишет рецензию на эту книгу, и получить бонус — до 50 рублей на баланс в Лабиринте!
Книги из жанра
450900 -50% Еще 2 дня
2 8435 685 -50% Еще 2 дня
9791 958 -50% Еще 2 дня
7541 508 -50% Еще 2 дня
1 2622 524 -50% Еще 2 дня
7541 508 -50% Еще 2 дня
1 0932 185 -50% Еще 2 дня
7081 416 -50% Еще 2 дня
8851 770 -50% Еще 2 дня
324647 -50% Еще 2 дня
7541 508 -50% Еще 2 дня
9701 939 -50% Еще 2 дня
2 4274 854 -50% Еще 2 дня
7621 524 -50% Еще 2 дня
8471 693 -50% Еще 2 дня
9701 939 -50% Еще 2 дня
489978 -50% Еще 2 дня
1 4002 800 -50% Еще 2 дня
9541 908 -50% Еще 2 дня
7541 508 -50% Еще 2 дня
7541 508 -50% Еще 2 дня
2 4994 997 -50% Еще 2 дня
1 5093 018 -50% Еще 2 дня
