Основы технологии электронной компонентной базы: Евгений Бодров
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль
Полная аннотация
Издательство
Все характеристики
Аннотация
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".
Характеристики
Издательство
ID товара
823978
ISBN
978-5-9729-0846-2
Страниц
204 (Офсет)
Вес
360 г
Размеры
217x155x15 мм
Тип обложки
7Бц - твердая, целлофанированная (или лакированная)
Иллюстрации
Черно-белые
Все характеристики
1 324
Рецензии на книгу
Читали книгу? Как она вам?
+50 ₽ за рецензию
Вы можете стать одним из первых, кто напишет рецензию на эту книгу, и получить бонус — до 50 рублей на баланс в Лабиринте!
Книги из жанра

9401 880 -50% Еще 9 дней

5 46610 931 -50% Еще 9 дней