Ионная и фотонная обработка материалов: Комаров, Константинов
5(1 оценка)0 рецензий
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной
Полная аннотация
Издательство
Все характеристики
Аннотация
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Характеристики
Издательство
ID товара
854059
ISBN
978-985-06-3395-8
Страниц
246 (Офсет)
Вес
384 г
Размеры
207x147x17 мм
Тип обложки
7Б - твердая (плотная бумага или картон)
Иллюстрации
Черно-белые
Все характеристики
Ожидается6 809
Рецензии на книгу
Читали книгу? Как она вам?
+50 ₽ за рецензию
Вы можете стать одним из первых, кто напишет рецензию на эту книгу, и получить бонус — до 50 рублей на баланс в Лабиринте!
Книги из жанра
1 1672 334 -50% Еще 4 дня
8341 283 -35% Еще 4 дня
3 0056 010 -50% Еще 4 дня
1 0502 100 -50% Еще 4 дня
8591 718 -50% Еще 4 дня
1 3872 774 -50% Еще 4 дня
9391 877 -50% Еще 4 дня
271541 -50% Еще 4 дня
492983 -50% Еще 4 дня
5951 190 -50% Еще 4 дня
1 0172 034 -50% Еще 4 дня
5041 008 -50% Еще 4 дня
9541 908 -50% Еще 4 дня
1 2772 554 -50% Еще 4 дня
1 4682 936 -50% Еще 4 дня
5851 170 -50% Еще 4 дня
4.5
3 7367 471 -50% Еще 4 дня
