Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие: Юрий Цветков
Оцените и оставьте рецензию
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, окси
Полная аннотация
Издательство
Все характеристики
Аннотация
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Характеристики
Издательство
ID товара
932822
ISBN
978-5-7038-4864-7
Язык
Русский
Страниц
124 (Офсет)
Вес
206 г
Размеры
235x165x7 мм
Тип обложки
обл - мягкий переплет (крепление скрепкой или клеем)
Иллюстрации
Черно-белые + цветные
Все характеристики
Ожидается830
Рецензии на книгу
Читали книгу? Как она вам?
+50 ₽ за рецензию
Вы можете стать одним из первых, кто напишет рецензию на эту книгу, и получить бонус — до 50 рублей на баланс в Лабиринте!
Книги из жанра
450900 -50% Еще 7 дней
2 8435 685 -50% Еще 7 дней
9791 958 -50% Еще 7 дней
7541 508 -50% Еще 7 дней
1 2622 524 -50% Еще 7 дней
7541 508 -50% Еще 7 дней
1 0932 185 -50% Еще 7 дней
7081 416 -50% Еще 7 дней
8851 770 -50% Еще 7 дней
324647 -50% Еще 7 дней
7541 508 -50% Еще 7 дней
2 4274 854 -50% Еще 7 дней
7621 524 -50% Еще 7 дней
8471 693 -50% Еще 7 дней
9701 939 -50% Еще 7 дней
489978 -50% Еще 7 дней
6021 203 -50% Еще 7 дней
1 4002 800 -50% Еще 7 дней
9541 908 -50% Еще 7 дней
7541 508 -50% Еще 7 дней
7541 508 -50% Еще 7 дней
2 4994 997 -50% Еще 7 дней
1 5093 018 -50% Еще 7 дней
5771 154 -50% Еще 7 дней
